Prüfung von rauen Asphären in streifender Inzidenz

Interferometrische Prüfung von Asphären in streifender Inzidenz

Projektleitung:
Projektbeteiligte: , ,
Projektstart: 1. August 2018
Projektende: 31. Juli 2021
Mittelgeber: DFG-Einzelförderung / Sachbeihilfe (EIN-SBH)

Abstract

Das Ziel des Vorhabens “Interferometrie in streifender Inzidenz für steile und feinstgeschliffene raue Asphären” ist es, ein interferometrisches Prüfverfahren für konvexe, stark gekrümmte Asphären zu entwickeln, wobei vorteilhafterweise Laserlicht im VIS-Bereich und diffraktive optische Strahlteiler sowie VIS-Detektortechnologie zum Einsatz kommen sollen.

In diesem Projekt soll ein Messverfahren zur hochgenauen Messung der Meridiankurve von konvexen, rauen (inkl. glatten) Rotations-Asphären auf Grundlage eines diffraktiven Interferometers in streifender Inzidenz (engl. grazing incidence) entwickelt werden. Durch die Verwendung der streifenden Inzidenz ergibt sich insbesondere die Möglichkeit, auch mikroskopisch raue Flächen und Flächen mit hoher numerischer Apertur interferometrisch zu vermessen.

Prinzipskizze des Interferomters

Dabei soll die Messmethode im Einzelnen entworfen und vor allem die Auswertung des zwangsläufig meridional eingeschränkten Interferenzgebiets theoretisch und praktisch behandelt werden. Insbesondere muss die Trennung von Oberflächenabweichungen von den durch die Justage bedingten Wellenaberrationen theoretisch modelliert werden.
Bei der experimentellen Umsetzung sollen neben der gruppeninternen Simulations-Software zur Strahlverfolgung auch experimentell alle durch die diffraktive Optik sich ergebenden Justierhilfen und methodischen Hilfsstrukturen im interferometrischen Messaufbau genutzt bzw. optimiert werden.

 

 

Testaufnahme des kompletten Interferenzgebiets
 

Darstellung des gesamten Messssystems in der Simulation

 

 

Publikationen